真空泵經較長時間(一般為2500h)運轉后進行大修。大修時應將所有零件拆下來進行清洗，清洗時最好用專門清洗金屬機件的清洗液。清洗中發現磨損的零件要更換。

真空泵維修全拆修叫做大修，對采取了局部拆修措施而未能排除故障的一些真空泵，其真空度仍低、仍有滲漏等現象；或者有些泵有下述現象之一者：如泵發生“卡死’現象，油很臟而且泵內已結了垢，生了銹或用了不適當的油使真空泵內部零部件上結了硬殼(硅油進入真空泵內，就可能產生這種情形)，旋片有較大的撞擊聲，泵腔內落入異物(金屬屑、玻璃屑、銅屑等)劃傷泵腔，摩擦發熱溫升很厲害(超過70℃)等，均需將真空泵全拆開進行清洗修理。那么，真空泵維修全拆修的步驟都有哪些？應該注意什么事項呢？

1、切斷電源，拔下電源插頭。該泵如在系統上，應當從設備上取下。

2、擰開放油螺栓放油，用手盤動皮帶輪，使泵腔內余油全部放出。油應收集好，一般是在真空泵底板下放一鐵制油盤或磁盤等(通稱方盤)收集，以便于今后蒸餾回收和免于污染環境。

3、拆下皮帶，卸下皮帶輪、鍵，脫開底板，視電機好壞程度(如發熱、過臟、有干磨的噪音，振動較大等)應予修理或送電工洗油修理。

4、先拆低真空端蓋板(后端蓋板，即遠離泵輪的一端)，拆卸時根據不同螺釘使用不同的工具。對于一般六角螺釘可用呆扳手，內六角螺釘要用內六角扳手，必要時要使用套筒扳手，這樣不會損壞螺釘。擰開端蓋板螺釘后，輕啟端蓋板。端蓋板如密合得很緊，則應慢慢設法起開。例如，可用銼刀在泵腔與端蓋板合縫處銼一小槽，然后用起子(改錐)插于小槽處用手敲起子把手，亦可用小錘輕敲起子以退出端蓋板，切不可重錘敲打。

5、用橡皮墊圈密封的則取下橡皮墊圈，退出定位銷。

6、取出轉子及旋片。通常在低轉子端而設有兩個攻了絲的孑匕用絲桿擰入此孑匕便很容易地拉出低轉子了。但要注意拉出轉子時一定要用手捏緊旋片，因旋片受彈簧力較大，一不小自容易脫手飛出，掉于地上或碰到硬物，碰壞旋片棱角及表面造成無端報廢。

7、拆卸高真空端，拿出高轉子和旋片。此時，只需用手捏緊旋片和軸即可取出轉子。

8、動手拆泵以前，應事先了解清楚待拆修泵的結構特點、各零部件大致屬哪種結構型式。例如，對那些本身屬于組合件的部件，如某些旋片泵的轉子等，則不要拆卸，可對其表面作適當的修正調整;如果組合轉子內落入玻璃屑、金屬異物傷了腔體或本身旋片槽已磨損過多，需修換配件時，則可拆卸，但要小心記住其裝配方法。

9、每拆下一個部件，都要檢查其精度和光潔度以及損壞情況。旋片及轉子兩頭的棱角要特別注意檢查其有否損壞，并作好記錄。對于業務尚不太熟悉的修泵者，則更應逐步記住各部件、零件的原裝配位置，作好記錄，以防重裝時記不清搞錯。同時，拆下的零部件不可亂放，堆徹，碰傷，丟失。最好將其放于一個方磁盤里，也可放于木盒中并清洗干凈，以綢布蓋上。

雅之雷德機電科技真空泵維修的拆卸順序：拆下電源，將泵從設備上取下；打開放水塞，放凈冷卻水；打開放油塞，轉動皮帶輪，放出泵油；拆下皮帶，卸下皮帶輪和鍵；拆低真空腔端蓋；取下密封圈，取出定位銷；取出低真空轉子及旋片，拉轉子時注意用手捏緊旋片，防止彈簧彈出碰壞旋片；用上述方法拆下高真空端蓋，拉出轉子和旋片。