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一、低真空裝置的污染及其處理
低真空裝置如真空輸送、真空浸漬、真空過濾、真空干燥、真空脫氣（鋼水處理）等要求具有工作壓力高 、排氣量大的低真空泵抽氣機組，這類低真空機組主泵常用往復式真空泵、油封式真空泵、水蒸氣噴射泵、水環泵、好凱德羅茨泵等。使用的低真空抽氣機組還需根據被抽氣體清潔程度、濕度或其他特殊要求，配置必要的除塵器、干燥罐等部件。
水蒸氣在壓縮過程中會凝結成水滴，并與泵混合形成懸浮液，不僅會使真空度下降，也能使泵腔與轉子生銹，破壞密封面，使泵的極限真空度下降。為此，防止水蒸氣對機械泵的污染很重要。雅之雷德機電防止的措施有：
1、選用帶有氣鎮裝置的油封機械泵；
2、裝油分離器、離心式分離器或油水分離器，將混有水的機械泵油進行處理，處理過的油再流入泵中使用；
3、使用吸水性強的干燥劑；
4、使用液氮冷阱，不僅能有效地吸附水蒸氣，同時還可以阻擋機械泵油向高真空室返流。
二、油擴散泵真空系統污染與防治
油擴散泵真空系統是使用最廣泛的真空系統，其獲得真空度范圍為1.3×10-3 ～1.3×10-5 Pa。油擴散泵真空系統構成的各類真空裝置，長期使用后，常見的故障是真空度抽不上去，或真空度抽不到原來的極限真空水平。與真空室內壁的油蒸氣污染、真空工藝過程各種污染物的污染有關，雅之雷德機電防止的辦法是：
1、定期清洗真空室；
2、定期對油封機械真空泵和油金屬擴散泵進行清洗。
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