真空泵與真空系統(tǒng)設計制造商

分子泵工作條件

2019/5/21 9:58:10 好凱德渦輪分子泵 hokaido 真空泵

分子泵是利用高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子把動量傳輸給氣體分子，使之獲得定向速度，從而被壓縮、被驅(qū)向排氣口后為前級抽走的一種真空泵。由于簡式牽引泵型線溝槽開在轉(zhuǎn)子圓柱外表面或泵體內(nèi)表面上，因此雅之雷德機電科技可以充分利用圓柱外圓較高的線速度對氣體分子進行動量傳遞，提高泵的抽氣效果。

由于渦輪級有較大的抽氣面積，抽速很大，而牽引級溝槽抽氣面積較小，在兩種結(jié)構的聯(lián)接處，由渦輪葉片壓縮下來的氣體分子的流動方式突然轉(zhuǎn)變，使氣體分子的運動在聯(lián)接處由有序變成無序，至使返流增加，抽氣能力下降。

分子泵.jpg

1常見應用

分析(質(zhì)譜分析、電子顯微鏡等)

半導體(電子組件、集成電路、柔性太陽能電池等)

光學/玻璃(熱保護,增透、反射、光學濾光膜)

鍍膜(表面保護，裝飾涂料，顯示器，屏幕)

真空冶金(真空爐、真空釬焊、真空燒結(jié)、真空合金、)

泄漏檢測(真空系統(tǒng)、車輛的油箱,安全氣囊

研究實驗(醫(yī)學核磁共振成像、核粒子物理，核聚變研究，激光應用和許多更多)

燈生產(chǎn)行業(yè)及相關

2工作條件

轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)速達到20000r/min，故分子泵啟動時間較長。

氣體處于分子流狀態(tài)，故需要配備前級泵，一般使用好凱德旋片泵作為前級泵。

3特點

油潤滑分子泵：潤滑油量小，且在前級真空段，對真空室污染小。

脂潤滑分子泵：油脂量極小，前級配干泵可獲得近似無油的清潔真空。

全磁懸浮分子泵：無須潤滑，與干泵一起使用，可獲得無油的清潔真空環(huán)境。

附：真空泵最佳工作范圍

泵種類	油封機械泵	水蒸汽噴射泵	羅茨泵	油增壓泵	油擴散泵
最佳工作范圍（Pa）	10⁵-10	10⁵-10²	10²-1	1-10^-1	5*10^-2-10^-4

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分子泵工作條件

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