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目前，真空獲得技術已由超高真空發展到10-10Pa—10-11Pa的極高真空階段。在超高真空和極高真空下，容器內部的氣體組分和容器內部的表面狀態關系十分密切。雅之雷德機電科技在研究這種條件下的真空物理和真空化學過程時，除了需要了解容器內部的表面狀態外，還必須知道容器內的氣體組分和相應的分壓力。
超高真空系統的全壓力測量除了最早采用的B-A型超高真空規外，又發展了許多極高真空規，如冷陰極磁控規、抑制規和彎注規等。但對許多研究工作來說，僅靠全壓力數據是不夠的。例如真空系統中的吸附、凝結、脫附過程等，它涉及到容器表面和系統內部物質和殘余氣體分子的相互作用。這時獲得系統內氣體組分和分壓力的數據比全壓力數據更能說明問題。
真空條件下的氣體分析和分壓力測量通常是由動態質譜計完成的。
第一個動態質譜計——射頻速度過濾器是于1926年提出的。其它的動態質譜計如射頻質譜計、回旋質譜計、飛行時間質譜計和四極質譜計都是于20世紀40年代末到50年代初提出的。早期的儀器主要用于同位素測量、帶電粒子的質荷比測量。但當耐正值真空技術處于向超高真空發展的重要階段，因此這些質譜計出現不久就被作為專用的真空質譜計了。
真空分析質譜計按其能否進行定量分析，可分為殘氣分析器和分壓力計。所謂分壓力計是指能滿足一定的定量分析精度要求的真空分析器。
在使用擴散泵的真空系統中，還有一個反擴散的問題。在擴散泵中氣流不僅發生在抽氣方向上，而且有少量的氣體分子沿蒸氣流的反方向流動，發生由低真空端向高真空端的擴散，這種現象叫做反擴散。反擴散的程度與擴散泵的壓縮比有關，壓縮比越大，反擴散越小，而壓縮比又與氣體質量有關。輕的氣體，壓縮比P 出/P入 要比重的氣體小得多。對四級擴散泵P 出/P入 約為107-106對高真空系統來說，反擴散的影響并不重要，但對超高真空系統就必須考慮反擴散對極限真空的限制。如果采用擴散泵獲得極高真空，就要將兩個擴散泵串聯起來，這樣前級擴散泵降低了主擴散泵的出口壓力，因而降低了主泵的反擴散。實驗證明，用這種方法可以改善極限真空。
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