真空泵配件有：

1.?油霧過濾器（別名：油霧分離器，排氣過濾器，排氣濾芯）?

好凱德真空泵油霧分離器在推動力的作用下，位于一側的油氣混合物中的通過真空泵油霧分離器的濾紙及棉質。油則被截留，從而實現氣體與真空油的分離操作過程。被過濾掉的真空泵油隨著回油管進行循環利用，排出的則是無油的廢氣，而達到無污染，潔凈的效果。

2.?空氣過濾器（別名：空氣濾芯?） ?

真空泵的滑動的空隙很小，外來的介質含顆粒、污垢，會破壞滑動面，豁附或阻塞泵的滑動面，造成泵不能正常工作。為了防止外來物被吸人泵中，需要使用過濾器來阻擋其進人泵中。萬一有空氣雜質沒有過濾清掉，進入泵浦內，可能導致油管堵塞，潤滑油變混，所以選擇空氣濾芯，必要要選擇原則正品。?后期保養和維修：使用真空泵空氣過濾器要定期清理，防止停留在過濾器的雜質吸入泵浦內造成泵浦卡死等現象發生。

3.?油過濾器（別名：油格）

油格又名油過濾器，真空泵油過濾器是很多進口真空泵品牌配置的一油過濾裝置，設置在泵浦回油管路上，主要用途是在回油箱中捕獲體系內發生或者是侵入的污染物。因此它也是控制體系污染濃度的重要的過濾裝置。

真空泵配件常見的失效模式：

1、磨損

磨損是真空泵配件常見的一種失效模式，一種是在有潤滑條件下，零部件之間接觸表面的摩擦磨損，常發生在齒輪、缸體、葉片、轉子滑動軸承、滾動軸承中。這類磨損速度緩慢，磨損失效主要與潤滑、密封條件有關。另一種是在無潤滑條件下，零件相互摩擦或物料對零件表面摩擦所造成的磨損，這在真空泵中尤其突出。如聯軸器、2X泵的皮帶輪、螺桿真空泵的雙螺桿等等。這類磨損速度比前者快得多，主要與金屬材料性能與物料性質有關。對于油式真空泵來講，潤滑中的磨損尤為突出，大多由于真空泵油變質，以及外來雜質導致潤滑不暢導致。

2、疲勞破斷

疲勞是一種失效機理，產生裂紋是一種失效模式。它們常常最后導致零件的破斷。這種疲勞破斷失效過程一般都存在于受交變負荷的的輪齒件中。常見于聯接螺栓、地腳螺栓、彈簧等零件，也會發生齒輪傳動軸等重要零件中。疲勞破斷所牽涉的因素很多，需要針對失效零件作具體分析，找出原因采取對策。

3、變形

變形也是真空泵零件常見的一種失效模式。由于泵浦在高速運行時會產生一定的高溫。諸如殼體、板件等常處于受熱狀態，最易發生。逐步產生的塑性變形，不能恢復零部件原有的幾何尺寸與形狀，嚴重時將造成設備故障。如密封圈，油封等。

4、腐蝕

腐蝕是真空泵零件失效的又一種模式。常見于工藝較為復雜的PCB，化工等工況下運行的真空泵中。

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